吸附法控制VOCs廢氣處理屬于干法工藝，是廣泛采用的方法之一，通過吸附劑對廢氣中VOCs廢氣處理進行物理吸附，達到凈化氣體的目的。通常選用的吸附劑為活性炭、硅膠、分子篩等。活性炭吸附回收法適于處理VOCs廢氣處理濃度為500~10000mg/m3的有機廢氣，主要用于吸附脂肪烴、芳香族化合物、酮類和酯類等。其中活性炭纖維對低濃度甚至痕量的吸附質同樣效果顯著，常用于吸附苯、醋酸乙酯和丙烯腈等。活性炭纖維比活性炭顆粒的費用高，主要應用于電子行業、制鞋行業、印刷行業等要求較高的行業
　　在固定床吸附技術中，為了克服熱脫附效率較低的缺陷，1999年Opperman和Brown報道了使用微波加熱再生吸著了VOCs廢氣處理的活性炭。采用常規的熱再生方法，完全活化的溫度需達到1400F，而使用微波再生的活化溫度僅是350F。Tai和Jou（1999）報道了使用微波加熱再生吸著有機酚的活性炭，幾乎可以把被吸附的酚脫附和分解掉。Price和Schmidt等人（1998）對微波再生工藝過程進行過許多研究，認為微波再生非常適用于使用低介電損失系數（Lowdielectricloss-factor）聚合物吸附劑。微波輻射脫附，不僅加熱速度快，而且床層溫度均勻。當使用低介電損失系數的聚合物吸附劑時，這類吸附劑僅吸收較少的微波能量。換句話說，所施加的微波的能量主要用于被吸附的物質上，這樣將大大降低脫附的能耗。
　　吸附法去除VOCs廢氣處理的原理是利用比表面積非常大的具有多孔結構的吸附劑將VOCs廢氣處理分子截留。當廢氣通過吸附床時，VOCs廢氣處理就被吸附在孔內，使氣體得到凈化。吸附法控制VOCs廢氣處理一般為物理吸附，其吸附過程可逆，當吸附達到飽和后，可用水蒸氣對吸附劑進行解吸，解吸后通過冷凝和蒸餾，對VOCs廢氣處理進行回收，吸附劑再生后可循環使用。吸附效果主要取決于吸附劑的性質、VOCs廢氣處理的種類、濃度和吸附系統的操作溫度、濕度、壓力等因素。吸附法的關鍵是吸附劑，常用的吸附劑有顆粒活性炭、活性炭纖維、沸石、分子篩、多孔粘土礦石、活性氧化鋁、硅膠和高聚物吸附樹脂等。吸附法具有適用范圍廣、工藝簡單、去除率高等優點，廣泛應用在環境污染控制領域。但該法也存吸附劑用量大、再生困難、占地面積大等缺點，故一般將吸附法作為其他方法的后續處理措施。